2025年十大 MEMS 传感器，MEMS 借助先进的 IC 制造技术将有源和无源元件集成到单个硅基板中。MEMS 传感器将我们周围的模拟世界与处理和计算的数字世界连接起来。MEMS 传感器就像我们人类的眼睛、耳朵、鼻子、嘴巴和具有触摸感应功能的皮肤。
全球 MEMS 市场增长良好，预计到 2024 年将达到 350 亿美元。以下是 2025 年最突出的 MEMS 设备的预览。
Vesper 的 VM3011 麦克风
Vesper 的VM3011自适应零功率监听 (ZPL) 数字压电 MEMS 麦克风适用于恶劣环境，可根据环境噪音的背景水平自动调整其声学阈值。该设备具有出色的系统节能效果，可延长电池寿命，而不会影响声学性能。
2025 年十大 MEMS 传感器
VM3011 设备通过底部端口数字 MEMS 麦克风提供高声学性能，其行业标准封装尺寸为 3.76 x 2.95 x 1.3 毫米。该麦克风将 ASIC 和压电 MEMS 换能器集成到封装中。数字脉冲密度调制 (PDM) 接口可用于传输音频数据，而 I 2 C 接口允许即时配置自适应 ZPL 功能。
Flusso 的 FLS110 小型气流传感器
Flusso FLS110是一款模拟质量流量传感器。该传感器与标准微控制器和固件相结合，可实现数字流量传感解决方案。该设备采用 3.5 毫米 x 3.5 毫米的小型封装，重复性为 0.5 sccm（标准立方厘米/分钟），测量值为 +0.5%。流量测量可达 500 slm（标准升/分钟）或更高，并经过温度补偿以获得可靠的流量信号。评估套件使设计人员能够使用现成的流量夹具和在 Windows 10 下运行的 GUI 测试 FLS110。
2025 年十大 MEMS 传感器
TDK 的 Chirp CH-101 超声波传感器
TDK CH-101基于 Chirp 的专利 MEMS 技术。它是一种系统级封装 (SiP)，将压电微机械超声波换能器 (PMUT) 与超低功耗片上系统 (SoC) 集成在一个小型可回流焊封装中。
2025年十大 MEMS 传感器
该 SoC 采用 Chirp 先进的超声波 DSP 算法，并包含一个集成微控制器，可通过 I 2 C读取数字距离。该传感器可对距离最远 1.2 米的目标进行精确的距离测量。这款飞行时间 (ToF) 距离传感器还可以即时测量人与人之间的距离。
USound 的 Conamara UT-P4010 扬声器
Conamara UT-P4010扬声器具有 IPX8 防水等级，可在 3 米深的水中安全浸泡 30 分钟。该设备具有强大的声压级 (SPL) 和低总谐波失真 (THD)。用途是入耳式音频设计，例如有线耳机或真正的无线立体声 (TWS)，其中无需电线即可将耳机连接到手机甚至彼此连接。
2025 年十大 MEMS 传感器
imec 的硅光子学光机械超声波传感器
Imec 在硅光子芯片上开发了一款基于 MEMS 的光机械超声波传感器，其强大的灵敏度归功于创新的光机械波导。这款 20 微米传感器的检测极限比相同尺寸的压电元件高出两个数量级。这种低检测极限使创新的临床和生物医学应用成为可能，可用于超声波和光声成像，如深层组织乳房造影术。
2025年十大 MEMS 传感器
MEMS 设备还可用于研究潜在肿瘤组织的血管化或神经支配。它基于使用新型 CMOS 兼容处理机制制造的高灵敏度裂肋光机械波导。
博世的 BME680 可降低病毒感染风险
室内空气质量严重影响我们的健康和福祉，以及通过呼吸中的气溶胶感染 COVID-19 等病毒的风险。博世BME680传感器旨在检测人类呼出的气息并输出空气质量指数。湿度使病毒很容易附着，因为冷空气使病毒能够存活，如果有人受到影响，大量肺部呼出的空气和气溶胶会导致病毒感染。
2025年十大 MEMS 传感器
该设备无法检测冠状病毒，但可以测量用气量；浓度控制通风可以减少感染。空气质量“红绿灯”可以使用 BME680 指示何时给房间通风，这将降低病毒感染的风险。设计师可以将该解决方案集成到智能 LED 灯中，智能 LED 灯可以改变颜色（绿-黄-红），指示何时空气质量不佳。学校和大学教室将特别受益于该设备。
STMicro 的 LIS2DTW12 双运动、数字输出温度传感器
LIS2DTW12具有用户可选的 ±2g/±4g/±8g/±16g 满量程，可以测量加速度，输出数据速率为 1.6 Hz 至 1,600 Hz。该设备还具有嵌入式 0.8°C（典型精度）温度传感器，输出数据速率 (ODR) 范围为 50 Hz 至 1.6 Hz，分辨率为 8 至 12 位。
2025年十大 MEMS 传感器
它有一个集成的 32 级先进先出 (FIFO) 缓冲器，允许用户存储数据以限制主机处理器的干预。此外，它还具有嵌入式自检功能，用户可检查传感器在最终应用中的功能。封装采用小型薄型塑料接地栅格阵列 (LGA) 封装，保证该设备在 -40°C 至 +85°C 的扩展温度范围内运行。
ADI 的低噪声、高频加速度计
ADXL1001 / ADXL1002 MEMS 器件在扩展频率范围内具有超低噪声密度，并具有两个针对工业条件监测优化的满量程范围选项。ADXL1001 (±100 g) 和 ADXL1002 MEMS 传感器的典型噪声密度分别为 30 µg/√Hz 和 25 µg/√Hz。这两款加速度计器件都具有稳定且可重复的灵敏度，可抵抗高达 10,000 g 的外部冲击。
2025年十大 MEMS 传感器
MEMS 传感器具有集成的全静电自检 (ST) 功能和超范围 (OR) 指示器，可为嵌入式应用提供高级系统级功能。这些器件具有低功耗和 3.3 V 至 5.25 V 单电源供电，可实现无线传感产品设计。它们采用 5 mm × 5 mm × 1.80 mm LFCSP 封装，额定温度范围为 −40°C 至 +125°C。
TE 的 Axisense-G 双轴陀螺稳定倾斜传感器
AXISENSE-G型号是一款双轴倾斜传感器，它将来自 MEMS 多轴加速度计和多轴陀螺仪的信号组合起来，精确表示俯仰和滚动角度。陀螺仪可缩短传感器的反应时间，并降低对冲击和振动事件的敏感性。该传感器以重力为参考，并报告 X 轴和 Y 轴上的任何正或负倾斜角度。测量的静态精度为 ±0.5°。
2025 年十大 MEMS 传感器
该设备封装在坚固的外壳中，可抵御恶劣环境。其户外使用防护等级为 IP-67。该传感器具有 400 毫米 (15.7”) 集成电缆和 4 针密封键控锁紧连接器。它具有 8–36 V DC的宽电源电压范围和内置温度传感器以及可立即通知用户或系统任何问题的自诊断功能。
SiTime SiT5157，60-220 MHz 超级 TCXO
SiT5157器件是一款 ±0.5 ppm 至 ±2.5 ppm MEMS Super-TCXO，具有独特的 DualMEMS 温度传感和 TurboCompensation 技术。该 IC 提供强大的动态性能，在存在气流、温度扰动、振动、冲击和电磁干扰等环境压力因素的情况下实现时序稳定性。该 MEMS 器件还集成了多个片上调节器来过滤电源噪声，无需专用的外部 LDO。输出能力为 60–189 MHz 和 208–220 MHz，步长为 1 Hz。